溅射镀膜设备保养维修,溅射镀膜设备保养维修方案

大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于溅射镀膜设备保养维修的问题，于是小编就整理了2个相关介绍溅射镀膜设备保养维修的解答，让我们一起看看吧。

1. af喷镀清洗方法？
2. 磁控溅射镀膜机导致不均匀因素哪些？

af喷镀清洗方法？

技术实现要素：

本发明目的在于提供一种不锈钢AF（AF：Anti fingerprint，防指纹）涂层工艺，以解决技术问题。

一种不锈钢AF涂层工艺，包括以下步骤：

步骤一：将不锈钢基材先在磁控溅射设备上用磁控溅射的方法沉积PVD涂层；

步骤二：用AF镀膜机进行辉光清洗；

磁控溅射镀膜机导致不均匀因素哪些？

原理上讲，两点：气场和磁场

磁控溅射在0.4Pa的气压情况下离子撞击靶材，溅射出粒子沉积到基材上，整体靶材的电压几乎一致，不影响溅射速率。

0.4Pa的气场情况是溅射速率最高的情况，气场变化，压强变大和变小都会影响溅射速率。

磁场大，束缚的自由电子增多，溅射速率增大，磁场小，束缚的自由电子就少，溅射速率降低。

稳定住气场和磁场，溅射速率也将随之稳定。

在实际情况下，气场稳定，

需要设计布气系统，最好将布气系统分级布置，保障镀膜机腔体内不同位置的进气量相同，同时，布气系统、靶材、基材等要远离镀膜机的抽气口。

需要稳定磁场，用高斯计测量靶材表面磁场强度，由于磁场线本身是闭合曲线，靶材磁场回路两端磁场强度自然比中间位置强，可以选择用弱磁铁，同时，基材要避开无法调整的磁场变化较大的部分。

到此，以上就是小编对于溅射镀膜设备保养维修的问题就介绍到这了，希望介绍关于溅射镀膜设备保养维修的2点解答对大家有用。